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MOCVD设备的工艺冷却水用量

发布日期:2014-12-30
顶盘的工艺水是带加热的,其他地方的常温冷却水就可以了。不同大小炉子的水用量不同,和反应室大小有关了。
Aixtron  G4 MOCVD  System  Cooling  Warte   50L/H